모노실란(SiH4)이란? 사고시 응급대응 방법

모노실란(SiH4)이란?

 

 

 

SiH4는 반도체, 디스플레이 및 태양전지 코팅에서 반사 방지제 역할을하여 태양전지 제조공정에 사용되며, Si 절연막, Si 반사방지막 형성시 사용된다.

 

 

모노실란(SiH4)은 공기 중에 약 1~95%의 가연 범위 내에서 외부적인 착화원이 없이도 점화될 수 있다.

 

 

 

모노실란(SiH4) 화재진압요령
-누출을 멈추게 할 수 없고 누출중인 가스에 불이 붙은 경우라면 화재진압을 시도하지 않을 것.
-위험하지 않다면 용기를 화재지역으로부터 이동시킬 것.
-방호 조치된 곳 또는 안전거리가 확보된 거리에서 물을 뿌릴 것. 용기내부로 물이 들어가지 않도록 할 것.
-진화가 된 후에도 물분무기로 용기를 냉각 시킬 것.

 

소화제
-분말 소화약제 또는 이산화탄소, 분무주수 또는 무상주수

 

 

 

모노실란(SiH4) 응급조치
-신선한 공기를 호흡할 수 있도록 환자를 옮길 것. 호흡이 곤란한 경우 호흡  보조 장치를 통해 산소를 공급해야 함. 따뜻하게 하고 안정을 유지.
-오염 된 의복 및 신발을 제거하는 동안 다량의 물과 비누를 사용하여 최소 15분 정도 세척.
-눈꺼풀을 위아래로 들어 올리면서 다량의 물로 최소 15분 동안 세척 후 즉시 의사의 치료를 받을 것

 

 

모노실란/SiH4 운전자 응급대응지시서