모노실란(SiH4)이란? SiH4는 반도체, 디스플레이 및 태양전지 코팅에서 반사 방지제 역할을하여 태양전지 제조공정에 사용되며, Si 절연막, Si 반사방지막 형성시 사용된다. 모노실란(SiH4)은 공기 중에 약 1~95%의 가연 범위 내에서 외부적인 착화원이 없이도 점화될 수 있다. 모노실란(SiH4) 화재진압요령 -누출을 멈추게 할 수 없고 누출중인 가스에 불이 붙은 경우라면 화재진압을 시도하지 않을 것. -위험하지 않다면 용기를 화재지역으로부터 이동시킬 것. -방호 조치된 곳 또는 안전거리가 확보된 거리에서 물을 뿌릴 것. 용기내부로 물이 들어가지 않도록 할 것. -진화가 된 후에도 물분무기로 용기를 냉각 시킬 것. 소화제 -분말 소화약제 또는 이산화탄소, 분무주수 또는 무상주수 모노실란(SiH4..
